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Eigenschaften von CVD-Titanverbindungsschichten aus metallorganischen Verbindungen für die Mehrlagenmetallisierung höchst integrierter Bauelemente

Andreas Intemann(Autor*in)
Intemann, A u. Ch (Verlag)
Erschienen in 1994
Sonstiges
unbekannte Medienform
150 Seiten
978-3-926323-80-4 (ISBN)
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