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1999 4th International Symposium on Plasma Process-Induced Damage

IEEE Electron Devices Society(Autor*in)
I.E.E.E.Press
Erschienen am 9. September 1999
Sonstiges
Mikrofiche
978-0-7803-5189-9 (ISBN)
176,59 €inkl. 19% MwSt.
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