1 - Inhalt [Seite 8]
2 - Kurzfassung [Seite 6]
3 - Liste der verwendeten Symbole [Seite 12]
4 - Extended Abstract [Seite 16]
5 - 1 Einleitung [Seite 20]
5.1 - 1.1 Ausgangslage [Seite 20]
5.2 - 1.2 Motivation und Zielsetzung der Arbeit [Seite 22]
6 - 2 Grundlagen abtragender Laserverfahren [Seite 25]
6.1 - 2.1 Materialabtrag mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung [Seite 25]
6.2 - 2.2 Laserinduzierte Plasmen [Seite 31]
6.3 - 2.3 Laserinduzierte Stoßwellen [Seite 38]
6.4 - 2.4 Kapillarausbildung beim Bohren mit ultrakurzen Laserpulsen [Seite 43]
7 - 3 Stand der Technik in der Prozessüberwachung [Seite 52]
7.1 - 3.1 Prozessüberwachungsmethoden beim Bohren mit gepulster Laserstrahlung [Seite 53]
7.2 - 3.2 Überwachungsverfahren beim Bohren mit ultrakurzen Laserpulsen [Seite 55]
7.3 - 3.3 Zusammenfassung [Seite 57]
8 - 4 Experimentelle Methoden [Seite 59]
8.1 - 4.1 Verwendete Strahlquellen [Seite 59]
8.2 - 4.2 Bildgebende Verfahren zur Charakterisierung der gasdynamischen Stoßwellenausbreitung [Seite 61]
8.3 - 4.3 Zeitaufgelöste Plasmaspektroskopie - Erfassung optischer Prozessemissionen [Seite 64]
8.4 - 4.4 Messung des Ionisationsgrades der Materialdampfwolke [Seite 67]
8.5 - 4.5 Aufnahme des Luft- und Körperschalls [Seite 68]
9 - 5 Überwachung des Bohrprozesses durch Auswertung der gasdynamischen Stoßwellenexpansion [Seite 71]
9.1 - 5.1 Ausbreitungsverhalten der Stoßwellen beim Laserbohren [Seite 71]
9.2 - 5.2 Einfluss der Prozessparameter [Seite 82]
9.3 - 5.3 Plasmaein.üsse auf die Stoßwellenausbreitung [Seite 89]
9.4 - 5.4 Zusammenfassung [Seite 98]
10 - 6 Prozessüberwachung durch koaxiale Erfassung optischer Prozessemissionen [Seite 101]
10.1 - 6.1 Zeitaufgelöste Spektroskopie am laserinduzierten Plasma [Seite 101]
10.2 - 6.2 Integrale, breitbandige Aufnahme der optischen Prozessemissionen [Seite 106]
10.3 - 6.3 Echtzeit-Überwachung und -regelung des Bohrprozesses [Seite 116]
10.4 - 6.4 Zusammenfassung [Seite 121]
11 - 7 Überwachung des Laserbohrens durch Erfassung des Ionisationsgrades der Materialdampfwolke [Seite 123]
11.1 - 7.1 Charakterisierung des Sensorelements [Seite 123]
11.2 - 7.2 Erste experimentelle Untersuchungen [Seite 125]
12 - 8 Prozessdiagnostik und -überwachung durch Erfassung akustischer Signale mit piezoelektrischen Aufnehmern [Seite 127]
13 - 9 Zusammenfassung und Ausblick [Seite 131]
14 - Literatur- und Quellenverzeichnis [Seite 136]
15 - Danksagung [Seite 147]
