1 Einleitung.- 2 Theoretische Grundlagen.- 3 Apparaturbeschreibung.- 4 Probensysteme und Meßablauf.- 5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.- 6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.- 7 Zusammenfassung.- Abbildungsverzeichnis.- Tabellenverzeichnis.