Abkürzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Ausgangssituation.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Untersuchungsinhalten.- 3.2 Anforderungen an Untersuchungsmethoden.- 4 Auswahl von Untersuchungsmethoden und Entwicklung von Versuchseinrichtungen.- 4.1 Auswahl der Meßgeräte.- 4.2 Entwicklung einer kontaminationsfreien, transportablen Laser-Lichtschnitt-Anlage zur Strömungssichtbarmachung.- 4.3 Tracer-Erzeugung und -Einbringung.- 4.4 Aufbau eines automatisierten Prüfstandes zur Durchführung von Geschwindigkeitsrastermessungen.- 5 Ermittlung des Einflusses unterschiedlicher Turbulenzintensitäten der Reinraumströmung.- 5.1 Einflußbereich von Funktionsträgern auf die ungestörte Reinraumströmung.- 5.2 Partikelausbreitung im Nachlauf von Funktionsträgern.- 6 Untersuchung der Strömung innerhalb und in der Umgebung von Fertigungseinrichtungen.- 6.1 Durchführung der Untersuchungen.- 6.2 Strömungsanalyse an Funktionsträgern.- 6.3 Strömungsuntersuchungen an Baugruppen.- 6.4 Strömungsausbildung an Fertigungsanlagen.- 7 Richtlinien zur strömungstechnischen Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen.- 7.1 Vorgehensweise bei der Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen.- 7.2 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Integration von Funktionsträgern in Baugruppen und Fertigungsanlagen.- 7.3 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Anordnung von Baugruppen in Fertigungsanlagen.- 7.4 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Aufstellung von Fertigungsanlagen in Reinräumen.- 8 Umsetzung und Erprobung der Richtlinien anhand der Optimierung einer Prototypanlage.- 8.1 Beschreibung desPrototypen und der bestehenden Anforderungen.- 8.2 Schwachstellenanalyse.- 8.3 Modifikationsphase.- 8.4 Optimierte Fertigungseinrichtung.- 8.5 Bewertung der Anwendbarkeit der aufgestellten Richtlinien.- 9 Zusammenfassung und Ausblick.- 10 Schrifttum.
