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Nanofabrication Revolution: Atomic Layer Deposition and Etching at the Nanoscale

Atomic Layer Deposition and Etching at the Nanoscale
Johnson(Autor*in)
tredition (Verlag)
Erschienen am 8. Juni 2024
Buch
Softcover
94 Seiten
978-3-384-25426-9 (ISBN)
28,10 €inkl. 7% MwSt.
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