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Experimentelle und numerische Untersuchung von Elektronendichte und -energieverteilung in einer ECR-Entladung

Dirk Hemmers(Autor*in)
Logos Berlin (Verlag)
Erschienen in 2001
Buch
Softcover
152 Seiten
978-3-89722-635-7 (ISBN)
40,50 €inkl. 7% MwSt.
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