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Simulation von Topographieprozessen in der Halbleiterfertigung
Mit englischer Zusammenfassung
Ernst Strasser(Author)
Österreichischer Kunst- u. Kulturvlg (Publisher)
Published in 1995
Book
Paperback/Softback
152 pages
978-3-85437-092-5 (ISBN)
More details
Series
Language
German
Illustrations
112 Abb., 5 Tab.
Dimensions
Height: 21 cm
Width: 14 cm
Weight
193 gr
ISBN-13
978-3-85437-092-5 (9783854370925)