MICRO SYSTEM Technologies 2001
Düsseldorf, March 27-29, 2001, International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components
Published in March 2001
Book
Hardback
624 pages
978-3-8007-2601-1 (ISBN)
Description
In diesem Tagungsband werden u.a. folgende Themen behandelt: Mikroelektronik, Mikrotechnologie, Miniaturisierung, Automatisierung, elektronische, optische und mechanische Komponenten und Werkstoffe, Prozesssteuerung, Sensoren, Verpackungstechnik, Produktentwicklung, Fertigungstechnik.