Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung von Systemen im Mikrometermaßstab, die heutzutage in fast jedem elektronischen Gerät zu finden sind. Das Buch stellt die Vielfalt der Herstellmethoden systematisch und stets mit Bezug auf aktuelle Anwendungen dar. Dazu gehören Verfahren wie Schichtabscheidung, Lithografie, 3D-Strukturierung durch Ätzen, Nanoimprinting, Mikrofräsen und -bohren sowie die modernen Inkjet-Ansätze zum direkten Druck von Nano- und Mikrostrukturen.