Kalte Plasmen
Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen
Published on 22. November 1990
Book
Paperback/Softback
X, 300 pages
978-3-540-53160-9 (ISBN)
More details
Language
German
Place of publication
Heidelberg
Germany
Publishing group
Springer Berlin
Product notice
Paperback (trade)
Unsewn / adhesive bound
Illustrations
27 s/w Abbildungen
Dimensions
Height: 24.4 cm
Width: 17 cm
Weight
540 gr
ISBN-13
978-3-540-53160-9 (9783540531609)
DOI
10.1007/978-3-662-08045-0
Schweitzer Classification
Other editions
New editions
Gerhard Franz
Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen
Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik
Book
02/1994
2nd Edition
Springer
€49.99
Article exhausted; check for reprint
Additional editions
E-Book
03/2013
Springer
€39.99
Available for download
Content
1 Einleitung.- 2 Phänomenologische Beschreibung einer Gleichstrom-Glimmentladung.- 3 Das Plasma.- 4 Erzeugung von Ladungsträgern I.- 5 Erzeugung von Ladungsträgern II.- 6 RF-Entladungen.- 7 Sputtern.- 8 Trockenätzverfahren.- 9 Ätzmechanismen.- 10 Ionenstrahlsysteme.- 11 Cyclotron-Resonanz-Systeme.- 12 Ausblick.- 13 Anhang.- 14 Erklärung der verwendeten Symbole und Akronyme.- 15 Literaturverzeichnis.- 16 Bildquellennachweis.- 17 Sachverzeichnis.